โซลูชั่นแม่พิมพ์ IC: เหล็กกล้าเครื่องมือประสิทธิภาพสูงของ ASSAB
เพื่อประสิทธิภาพเความแม่นยําที่เหนือกว่า
วัสดุขั้นสูงช่วยให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยําในการขึ้นรูป IC
ภาพรวมแนวโน้มตลาด
- การเร่งนํายานยนต์ไฟฟ้าและยานยนต์ไร้คนขับมาใช้ กําลังผลักดันความต้องการส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงจํานวนมาก ดังนั้นจึงจําเป็นต้องใช้อุปกรณ์ขึ้นรูปที่มีความแม่นยําสูงเพื่อให้การผลิตมีประสิทธิภาพและปรับขนาดได้
- การลงทุนที่สําคัญของรัฐบาลและองค์กรเอกชนในความสามารถในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีจุดมุ่งหมายเพื่อเสริมสร้างความแข็งแกร่งให้กับการผลิตภายในประเทศและลดการพึ่งพาการนําเข้า ซึ่งจะช่วยเสริมความต้องการโซลูชันการขึ้นรูปขั้นสูง
- การปรับใช้เทคโนโลยี 5G อย่างแพร่หลาย ต้องใช้ส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่ซับซ้อนสําหรับโครงสร้างพื้นฐานและอุปกรณ์สื่อสาร ซึ่งทำให้เกิดความต้องการแม่พิมพ์ที่สามารถผลิตได้อย่างแม่นยำและมีประสิทธิภาพสูง

คุณสมบัติที่สําคัญของเหล็กกล้าเครื่องมือสําหรับแม่พิมพ์ IC
- ทนความร้อนได้ดีเยี่ยม: การขึ้นรูป IC เกี่ยวข้องกับอุณหภูมิการประมวลผลที่สูง เหล็กกล้าเครื่องมือต้องรักษาความแข็งและความสมบูรณ์ของโครงสร้างภายใต้ความเครียดจากความร้อนเพื่อป้องกันการอ่อนตัวหรือการเสียรูป เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพของแม่พิมพ์ที่สม่ําเสมอและอายุการใช้งานที่ยาวนาน
- กําลังรับแรงอัดสูง: ในระหว่างการขึ้นรูป เหล็กจะประสบกับแรงกดดันในการหนีบและการฉีดอย่างมีนัยสําคัญ กําลังรับแรงอัดสูงช่วยป้องกันการเสียรูปหรือการแตกร้าวภายใต้ภาระเหล่านี้ โดยรักษาความแม่นยําของมิติของโพรงแม่พิมพ์
- ความต้านทานการสึกหรอที่เหนือกว่า: รอบการขึ้นรูปซ้ําๆ และการสัมผัสกับสารกัดกร่อนสามารถกัดกร่อนพื้นผิวแม่พิมพ์ได้ เหล็กกล้าที่ทนต่อการสึกหรอช่วยลดการเสื่อมสภาพของพื้นผิว ลดการบํารุงรักษา และยืดอายุการใช้งานของเครื่องมือ
- คงรูปแม้ในอุณหภูมิสูง: การหมุนเวียนด้วยความร้อนอาจทําให้เกิดการบิดเบือนได้หากเหล็กขาดความมั่นคง ความเสถียรของมิติช่วยให้มั่นใจได้ว่าแม่พิมพ์จะคงรูปทรงเรขาคณิตที่แม่นยํา ซึ่งเป็นสิ่งสําคัญสําหรับส่วนประกอบ IC ที่ต้องการความคลาดเคลื่อนระดับไมครอน
- เหมาะกับการกัดด้วย EDM: การตัดเฉือนแบบคายประจุไฟฟ้า (EDM) มักใช้สําหรับคุณสมบัติของแม่พิมพ์ที่ซับซ้อน ความสามารถในการแปรรูป EDM ที่ดีช่วยให้การประมวลผลมีประสิทธิภาพโดยไม่ทําให้เกิดไมโครแคร็กหรือลดทอนความสมบูรณ์ของพื้นผิว
- โครงสร้างเนื้อเหล็กสะอาด: โครงสร้างจุลภาคที่สะอาดและเป็นเนื้อเดียวกันช่วยเพิ่มความสามารถในการขัดเงาและลดความเสี่ยงของข้อบกพร่องในชิ้นส่วนขึ้นรูป ซึ่งจําเป็นสําหรับบรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์คุณภาพสูง
- รองรับการเคลือบผิว: การเคลือบพื้นผิว เช่น PVD และการชุบด้วยไฟฟ้าฮาร์ดโครเมียมช่วยเพิ่มการสึกหรอ ความต้านทานการกัดกร่อน และคุณสมบัติป้องกันการเกาะติด เหล็กรองรับการยึดเกาะที่แข็งแรงของสารเคลือบเหล่านี้
- ความต้านทานการกัดกร่อน: แม่พิมพ์ IC ต้องการความต้านทานการกัดกร่อนด้วยเหตุผลสําคัญหลายประการที่เกี่ยวข้องกับการรักษาประสิทธิภาพของแม่พิมพ์ ยืดอายุการใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีสารเคมี
เหล็กกล้าเครื่องมือ ASSAB สําหรับการขึ้นรูป IC
- ASSAB PM23 SuperClean: เหล็กกล้าเครื่องมือมาตรฐานสําหรับการขึ้นรูป IC
- ASSAB PM30 SuperClean และ ASSAB PM60 SuperClean: เหมาะอย่างยิ่งสําหรับระยะเวลานาน
- Elmax SuperClean: ให้ความต้านทานการสึกหรอและทนต่อการกัดกร่อน
- Tyrax ESR: ขึ้นชื่อเรื่องความสะอาดและทนต่อการกัดกร่อน
| เกรดเหล็ก | คุณสมบัติที่สำคัญ | ทำไมถึงแนะนำ | การใช้งานทั่วไป |
|---|---|---|---|
| ASSAB PM23 SuperClean | • ทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม • กำลังรับแรงอัดสูง • ความเสถียรของมิติ | ตัวเลือกมาตรฐานสำหรับแม่พิมพ์ IC เนื่องจากสามารถทนต่อสารอีพ็อกซี่ที่มีฤทธิ์กัดกร่อน และรักษาความแม่นยำได้แม้ภายใต้ความร้อนและแรงกดสูง | อินเสิร์ตมาตรฐานสำหรับแม่พิมพ์ทั่วไป |
| ASSAB PM30 SuperClean | • ความต้านทานการสึกหรอและแรงอัดที่สูงขึ้น • เสถียรภาพทางความร้อนที่ดี | เหมาะอย่างยิ่งสำหรับแม่พิมพ์ที่ต้องเผชิญกับการหมุนเวียนความร้อนบ่อยครั้งและการผลิตในปริมาณมาก | อินเสิร์ตสำหรับการผลิตต่อเนื่องยาวนาน |
| ASSAB PM60 SuperClean | • ความต้านทานการสึกหรอที่เหนือกว่าและแรงอัด • เสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยม | เหมาะที่สุดสำหรับความทนทานสูงสุดในการทำงานต่อเนื่อง ช่วยลดเวลาหยุดทำงาน | เครื่องมือแม่พิมพ์สำหรับการผลิต IC ปริมาณมาก |
| Elmax SuperClean | • ความต้านทานการสึกหรอสูง • ความต้านทานการกัดกร่อน | เหมาะสำหรับแม่พิมพ์ที่สัมผัสกับสารเคมี ทำให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานของเครื่องมือที่ยาวนานขึ้น | แม่พิมพ์ที่มีความแม่นยำในสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อน |
| Tyrax ESR | • ความสะอาดที่เหนือกว่า • ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม • ขัดเงาได้ดีเยี่ยม | ช่วยให้มั่นใจได้ถึงพื้นผิวที่ปราศจากข้อบกพร่องและการยึดเกาะของสารเคลือบที่แข็งแรงสำหรับกระบวนการขึ้นรูป IC ขั้นสูง | ได้รับการรับรองสำหรับการใช้งานในหลายประเภทของแม่พิมพ์ IC |
บริการครบวงจรจาก ASSAB
การอบชุบความร้อน
แม่พิมพ์ IC ต้องการพารามิเตอร์การบําบัดความร้อนที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวด ตั้งแต่การให้ความร้อนและการชุบแข็งไปจนถึงรอบการแบ่งเบาบรรเทา เพื่อให้ได้ความเสถียรของมิติและความต้านทานการสึกหรอที่ยอดเยี่ยม มักใช้การบําบัดแบบ subzero หลายครั้งเพื่อลดออสเทนไนต์ที่ตกค้าง เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่สม่ําเสมอและความน่าเชื่อถือในระยะยาว ด้วยประสบการณ์เฉพาะทางหลายทศวรรษ ASSAB ได้ปรับปรุงแนวทางปฏิบัติในการอบชุบด้วยความร้อนโดยเฉพาะสําหรับการใช้งานแม่พิมพ์ IC ให้ผลลัพธ์ที่ทําซ้ําได้ซึ่งช่วยยืดอายุการใช้งานของเครื่องมือและรักษาความแม่นยําภายใต้สภาวะที่ต้องการ
บริการเคลือบผิว PVD
ASSAB ให้บริการเคลือบ PVD เพื่อเพิ่มฟังก์ชันการทํางานและอายุการใช้งานของแม่พิมพ์ IC คําแนะนําของเราคือ:
| CrN / CrN Multilayer: PVD หลายชั้นที่ทนต่อการกัดกร่อนและออกซิเดชันเพื่อการปกป้องที่หนาขึ้นและแรงเสียดทานต่ํา ข้อมูลจําเพาะที่สําคัญ: ความแข็ง 2,000–2,300 HV ความหนา 1–6 μm (หลายชั้น 2–6 μm) Tmax ~600 องศาเซลเซียส แรงเสียดทาน μ ≈0.2–0.4 เลือกสําหรับแกน/เม็ดมีดที่สัมผัสกับสารเคมี คราบสกปรก หรือรอยขีดข่วนอย่างหนัก | TiN-ultrafine: PVD อาร์คละเอียดพิเศษให้ชั้นทองที่เรียบเนียนและปราศจากข้อบกพร่องสําหรับโพรง IC ทั่วไป ข้อมูลจําเพาะที่สําคัญ: ความแข็ง ~2,800 HV ความหนา 2–4 μm Tmax ~500 องศาเซลเซียส ดีที่สุดสําหรับเรซินที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและเติมซึ่งความสามารถในการขัดเงาและการปลดปล่อยที่เชื่อถือได้มีความสําคัญ |